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表面形状測定器

機器No.	1D021C
種　別	寸法・形状測定 表面観察機器類(D)
機器名	表面形状測定器
研修時間	2時間
研修料金	0円/回
使用料	1190円/時間
担当部署	機械電子技術部
仕　様	微小部分の測定位置を確認しその形状を測定する。 垂直方向測定範囲:50Å～655kÅ 垂直方向分解能:5Å サンプルステージ寸法:φ127mm
メーカー及び型式	日本真空技術Dektak3
画　像
備　考