プラズマエッチング装置

機器No.	1B013C
種　別	材料処理機器類(B)
機器名	プラズマエッチング装置
研修時間	4時間
研修料金	0円/回
使用料	2470円/時間
担当部署	材料技術部
仕　様	反応器:パイレックス製 300mmφ 基板:160mmφ 電極:平行平板型 RF電源:13.56MHz 300W
メーカー及び型式	サムコインターナショナル研究所RIE-10N
画　像
備　考